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椭偏仪 - 来宝百科

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以?#23433;?#26009;微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破?#30331;?#19981;需要真空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。  详情 >
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