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商品編號:50841
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Aera PI-980穩壓型質量流量控制器

價    格:詢價

產    地:美國更新時間:2019/7/15 13:41:34

品    牌:Advanced Energy型    號:Aera PI-980

狀    態:正常點擊量:1526

18753191326
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濟南堃康醫療器械有限公司

聯 系 人:甘明

電     話:18753191326

傳     真:0531-68629559

等     級: (第 5年)

性     質:生產型,

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優勢

?

·???????? 改善了氣體輸送性能和生產產量

·???????? 便于在設備上整合

·???????? 大幅節約了氣體面板成本

·???????? 減小了氣體面板尺寸

·???????? 提高了安全性

·???????? 實時通信和控制

·???????? 世界級的服務和支持

·???????? 延長了系統正常運行時

特點

·???????? 穩壓運行

·???????? 精確性和可重復性高

·???????? 整合式氣體面板組件

·???????? 現場氣體檢驗,多氣體、多范圍配置

·???????? 現場可編程

·???????? DeviceNet? 控制

·???????? 板上顯示

·???????? 整合式診斷

·???????? 全金屬密封

超純設計


產品參數

其流量范圍范圍分不同的等級,分別有2sccm4sccm5sccm9sccm10sccm30sccm31sccm100sccm101sccm300sccm301sccm1000sccm1001sccm3000sccm3001sccm10000sccm10001sccm30000sccm30001sccm50000sccm.

精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作壓力:100 psiA(690 kPaA)


產品介紹

集熱溫感式 MFC

Aera PI-980系列穩壓型質量流量控制器

憑借業界領先的流量控制技術,Aera? PI-980? 系列非壓敏型 MFC(質流控制器)可預測新一代半導體制造制程不斷增長的需求,這些制程包括蝕刻、化學汽相沉積、物理汽相沉積和擴散。與先前的技術或競爭對手產品相比,這一創新的技術平臺提供了更迅速的響應、更高的氣體流量穩定性、更高的精確度以及一流的實時制程控制。較高的流量穩定性提供了更好的腔室到腔室制程可重復性,從而提高了生產產量。
PI-980 MFC
的新一代設計將傳統的熱流量架構與一個壓力傳感器、溫度傳感器以及 NeuralStep? 控制技術進行了整合,從而創造了一個單一而精簡的輸送包,省去了以往一直需要使用的眾多昂貴的氣體面板組件。多氣體、多范圍功能大幅降低了支持性物品的要求,從而進一步提高了成本效率。除了整合式診斷,新一代 MFC 技術還被整合進了我們得到現場驗證的 D980 系列產品平臺,以延長系統正常運行時間,并使故障的發現和修理變得快速而簡易。



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