来宝网Logo

热门词:生物显微镜 水质分析仪 微波消解 荧光定量PCR 电化学工作站 生物安全柜

现在位置首页>净化>清洗设备>等离子清洗器> PLUTOVAC中小型多功能等离子清洗机Pluto-30

商品编号:75338
分享

PLUTOVAC中小型多功能等离子清洗机Pluto-30

价    格:询价

产    地:上海更新时间:2019/9/15 8:41:13

品    牌:PLUTOVAC型    号:Pluto-30

状    态:正常点击量:153

18049905701
联系我时,请说明是在来宝网上看到的,谢谢!

上海沛沅仪器设备有限公司

联 系 人:

电     话:021-58463480

传     真:

等     级: (第 1年)

性     质:生产型,

联系我时请说在来宝网上看到的,谢谢!



PLUTOVAC中小型多功能等离子清洗机Pluto-30 核心参数

  • 功率

    <500W、 <600W、



Pluto30是专为研发而设计的全功能等离子体系统,13.56MHz射频发生器和自动匹配网络电源在整个过程区域产生均匀的等离子体。Pluto 30的真空腔可支持多达7个可调节样品架,?#21248;?#32435;各?#20013;?#29366;尺寸的样品。Pluto30具有多种电极设置,可配置成RIEPECVD模式,从而扩大了该系统的应用范围,提供给用户无与伦比的灵活性。



特征及优势

专利气体输送系统,提供气体分配均匀性和灵活的气体分配方法

不同工艺模式(RIE、下游等离子体等)的柔性电极配置

独特的射频系统提供卓越的工艺重复性和处理效率

全自动处理能力

图形用户界面支持配方编辑器、配方驱动流程并提供实时流程信息

台式设计需要较小的占地面积

?

?

典型应用

表面活化

提高表面能量以提高材料粘合性:预压模粘合;预焊线粘合

增强表面胶体流动性:预成型;预倒装芯片下溢


表面粗糙度和蚀刻

降低表面应力,?#32435;?#34920;面粘结性

灰化和表面清洁

?

Plasma等离子蚀刻(配备RIE配置)

电介质/III-IV材料

?

纳米涂层(配备液体前体输送装置)

?#36864;?#32435;米涂层:印刷电路板表面处理

防腐纳米涂层:医疗器械,医疗植入物




产品参数

Pluto30参数

腔体

腔体尺寸

300W x 280H x 366Dmm

容量

30L

电极数量

最多可达8

电极

电极间隙

48mm

功率电极尺寸

226W x 210D mm

接地电极尺寸

260W x 210D mm

射频系统

射频功率和频率

300W/13.56MHz

气体控制

MFC控制器

标配1MFC,最多4MFC控制器

系统控制

7寸工业触控屏

全数字控制,实时显示工作状况,可设定操作权限和各种报警值,可储存工艺方案

真空泵系统

油泵

32m3/h

功率

220V/10A50Hz,单相,3线

尺寸

外形尺寸

706W x 804D x 735H mm

特别装置

需求

工艺气体

0.25英寸. 气管快接.适用于?15-20psig;

净化气

0.25英寸. 气管快接. 适用于10-100psig

CDA

0.25英寸. 气管快接. 适用于60-90psig

?#29260;?#25509;口

KF40

可选项

液体前驱体输送系统

500W/13.56MHz射频系统

37m3/h 干泵

?#29260;?#27927;涤器

油雾消除器

?



产品介绍

PLUTO-30 等离子体材料表面处理系统


中小型?量产级?多功能



PLUTOVAC中小型多功能等离子清洗机特征及优势

专利气体输送系统,提供气体分配均匀性和灵活的气体分配方法

不同工艺模式(RIE、下游等离子体等)的柔性电极配置

独特的射频系统提供卓越的工艺重复性和处理效率

全自动处理能力

图形用户界面支持配方编辑器、配方驱动流程并提供实时流程信息

台式设计需要较小的占地面积

?

?

PLUTOVAC中小型多功能等离子清洗机Pluto-30典型应用

表面活化

提高表面能量以提高材料粘合性:预压模粘合;预焊线粘合

增强表面胶体流动性:预成型;预倒装芯片下溢


表面粗糙度和蚀刻

降低表面应力,?#32435;?#34920;面粘结性

灰化和表面清洁

?

Plasma等离子蚀刻(配备RIE配置)

电介质/III-IV材料

?

纳米涂层(配备液体前体输送装置)

?#36864;?#32435;米涂层:印刷电路板表面处理

防腐纳米涂层:医疗器械,医疗植入物




资料下载


猜你喜欢
急冻钻石电子